SF6是氣體絕緣設備（SF6斷路器、GIS、SF6氣體絕緣變壓器、SF6氣體絕緣互感器）的主要絕緣介質和滅弧介質，SF6氣體絕緣設備的絕緣性能和滅弧性能與SF6氣體的質量有很大關系。SF6氣體在生產制造和設備運行中，會產生多種有毒的具有腐蝕性的氣體和固體分解物，不僅影響到電氣設備的性能，而且危及設備運行檢修人員的安全。SF6氣體監督對SF6氣體絕緣設備的安全運行十分重要。

  使用中的SF6氣體，應按照DL/T 596《電力設備預防性試驗規程》中的有關規定進行檢驗。有SF6設備的單位應配備SF6檢漏儀和氣體綜合測試儀，并定期校驗合格；SF6氣體絕緣電力設備交接、大修時，應進行設備中SF6氣體濕度測量試驗和檢漏試驗，并校驗SF6密度繼電器和壓力表；運行中SF6氣體絕緣電力設備，根據DL/T 596《電力設備預防性試驗規程》進行設備中SF6氣體濕度測量試驗、檢漏試驗以及密度繼電器和壓力表校驗試驗， 每月至少應記錄一次SF6氣體絕緣電力設備的密度繼電器指示范圍和壓力表的讀數。

  因此，采用SF6氣體綜合測試儀對SF6的分解物等進行測試，能有效地全方位地了解SF6氣體狀態。